晶体管微缩难上加难,厂商们有何妙招?
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原子层沉积(ALD):原子级别的厚度控制技术简介
在半导体行业这场无声的“纳米战争”中,一种能在原子尺度精准“砌墙”的技术,正成为支撑摩尔定律继续前行的关键力量。在当今半导体制造领域,随着芯片工艺节点从纳米级迈向埃米级,传统薄膜沉积技术已无法满足极致微缩的需求。
不用EUV,也能做3nm?
从DUV到EUV,从193nm到13.5nm,再到High-NA EUV,整个产业链围绕着一个核心变量不断演进——如何用更短的波长,在硅片上刻出更细的线条。
1nm后的芯片:硅迎来最强继任者
本文概述了 2D CFET 面临的挑战和前景,重点关注 2D 材料合成、n/p 型 2D 沟道工程、低电阻金属接触、可靠的栅极介质集成、FEOL/BEOL 兼容性以及 M3D 架构的互连协同设计。
北方华创原子层刻蚀设备为高端装备再添新秀
近日,北方华创自主研发的原子层刻蚀设备进入行业知名客户生产线,为国产设备在先进制造领域再添新秀。传统等离子刻蚀设备在进入14nm以下技术代,以及其它有低损伤要求的刻蚀领域以后,面临诸如刻蚀损伤、负载效应以及控制精度不够等一系列挑战。
半导体材料732亿美元创新高,细分赛道怎么看?
来源:市场资讯(来源:SEMI)SEMI Linx 系列材料专题报告上线732亿美元。这是SEMI最新公布的2025年全球半导体材料市场规模,同比增长6.8%,创历史新高。其中,晶圆制造材料达458亿美元,光刻相关材料和湿化学品均实现两位数增长。
刻蚀工艺原理与分类:芯片制造中的"精密切刀"
刻蚀工艺原理与分类:芯片制造中的"精密切刀" 今日核心收获1. 刻蚀的本质:把"光刻"出的图案"刻"成现实刻蚀(Etching)是光刻工艺的姐妹工序。如果说光刻是"照相"——在光刻胶上画出电路图案,那么刻蚀就是"雕刻"——把光刻胶上的图案真正"挖"到晶圆上。
半导体设备,下一个爆点
泛林对 ALE 的布局已持续十年:2014 年在 Sematech 研讨会上定义 ALE 工艺,2016 年推出 Flex 系列系统,实现业界首个用于高产量制造的等离子体增强 ALE功能,推动该技术进入商业化应用的新阶段。
微纳制造中“原子层沉积(ALD)和原子层刻蚀(ALE)”技术详解;
【博主简介】本人“爱在七夕时”,系一名半导体行业质量管理从业者,旨在业余时间不定期的分享半导体行业中的:产品质量、失效分析、可靠性分析和产品基础应用等相关知识。常言:真知不问出处,所分享的内容如有雷同或是不当之处,还请大家海涵。